真空系统采用KT/TK-150油扩散泵做主抽泵 机械泵做前级泵

    技术数据：

1、1  极限压力：     5*10^-4Pa

1、2  吸气口通径：   φ150

1、3  工作电压：      380/220V±10%

1、4  功率：          1.55kw

1、5  外型尺寸：      1000*650*1100mm（长*宽*高）

2、            设备用途及结构说明：

2、1  采用油扩散泵与机械泵的组合使排气元件获得高真空。

2、2  主要结构

2、2、1  真空系统采用KT/TK-150油扩散泵做主抽泵，2XZ-4机械泵做前级泵。机械泵抽气口处有真空电磁充气阀，停电时自动关闭，使系统保持真空状态，并对机械泵放气以防止返油。吸气管路上有两个φ40蝶阀，一个用于预抽（预抽阀），另一个做前级阀。

KT/TK-150油扩散泵上有水冷挡板，以减少油蒸汽对真空系统的污染。

水冷挡板上有GI-150高真空挡板阀。

2、2、2  控制柜面板上，油扩散泵、机械泵均有开停指示灯。真空电磁充气阀与机械泵联动。