鑫益达螺杆真空泵是干式真空泵的一种,其具有以下特点:(1)一般的油封式真空泵在抽真空时,泵油会进入真空室污染真空环境,同时工艺气体也会污染泵油,影响泵的稳定运行,螺杆真空泵是一种干式真空泵,螺杆真空泵运行时转子腔室无油。
(2)适应性强。螺杆真空泵抽速较高,仅由一台螺杆真空泵即可获得较高的真空度,可以从大气压直接抽到 1Pa 以下,不需要与其他泵串联,抽气性能优良,抽速比较稳定,节能高效;
对于一些具有腐蚀性的气体,可以在转子表面和泵腔表面进行涂层处理,提高转子和泵体表面性能,同时转子之间留有一定间隙,在运行和组装时也不会对涂层造成破坏。
(3)结构紧凑,可靠性高。螺杆真空泵抽气时由一对螺杆转子同步旋转实现,间隙的存在使转子运行时不会因热膨胀而卡住,同时还可以抽除一些含有粉尘的颗粒性气体和易燃易爆气体。
(4)故障少,易于维修。泵腔内只有一对互相啮合的螺杆转子,工作稳定、安全高效。
(5)气体通路短。气体在泵内输送路径短,对等螺距螺杆转子而言,气体在输送过程中没有压缩,避免了反应物堆积,有利于气体快速排出。