技术数据:
1、1 极限压力: 5*10-4Pa
1、2 吸气口通径: φ150
1、3 工作电压: 380/220V±10%
1、4 功率: 1.55kw
1、5 外型尺寸: 1000*650*1100mm(长*宽*高)
2、 设备用途及结构说明:
2、1 采用油扩散泵与机械泵的组合使排气元件获得高真空。
2、2 主要结构
2、2、1 真空系统采用KT/TK-150油扩散泵做主抽泵,2XZ-4机械泵做前级泵。机械泵抽气口处有真空电磁充气阀,停电时自动关闭,使系统保持真空状态,并对机械泵放气以防止返油。吸气管路上有两个φ40蝶阀,一个用于预抽(预抽阀),另一个做前级阀。
KT/TK-150油扩散泵上有水冷挡板,以减少油蒸汽对真空系统的污染。
水冷挡板上有GI-150高真空挡板阀。
2、2、2 控制柜面板上,油扩散泵、机械泵均有开停指示灯。真空电磁充气阀与机械泵联动。